Resposta:

Eduardo:
Seja bem-vindo. Que não seja sua última participação!
“Ateu” vem do Grego A-, partícula negativa, mais THEOS, “deus”. Ou seja, “ateu” é “sem deus”.
THEOS mais LOGEÍA, “estudo”, formam “teologia”.
“Teísmo” vem de THEOS mais o sufixo latino ISMUS.
Um bom dicionário etimológico é difícil. O de Siveira Bueno, com 8 volumes, não se publica mais, mas pode ser achado em lugares especializados.
Nosso grupo faz a maior parte dos trabalhos, fora o S. Bueno, com dicionários estrangeiros.
Não creio que você encontre qualquer coisa satisfatória atualmente em um volume em nosso meio.
Mas compre tudo o que achar e vá se divertindo.